人民網北京11月16日電?第十三屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA 2016)于11月15日在北京國際會議中心開幕,其中,“材料與裝備技術”分會是本屆論壇的固定分會組成之一。記者了解,今年“材料與裝備技術”分會依舊兼顧前沿大勢與實用技術的搭配。中科院半導體研究所研究員、中科院半導體照明研發中心副主任、國家半導體照明工程研發及產業聯盟副秘書長王軍喜擔任分會中方主席,分會外方主席則由佐治亞理工大學電氣和計算機工程學院的教授Russell Dupuis擔任。
此外,分會報告嘉賓陣容也十分強大——特邀中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、北京大學、北京北方華創微電子裝備有限公司、美國新澤西理工學院、荷蘭飛利浦、德國愛思強股份有限公司、美國維易科(Veeco)精密儀器有限公司、中微半導體、北京康美特科技有限公司等國內外大學、研究機構、知名設備及材料商嘉賓做演講報告。
會上,德國愛思強股份有限公司應用工程CCS高級部門經理Adam R Boyd介紹了使用Aixtron AIX R6 MOCVD設備大規模生產InGaN基藍光LED主題報告。來自另一設備巨頭美國維易科的市場營銷總監Mark Mckee則在報告中介紹了通過高性能As/P MOCVD和離子束濺射技術加快光子發展情況,他表示,隨著人們對數據通信、傳感、紅外照明和光纖泵浦的需求增多,光子器件如VCSEL激光器、EE激光器等將越來越受歡迎。“未來五年現有和新增應用將呈現兩位數增長,MOCVD技術和設備滿足了光子制造商對生產設備的需求,這是器件制造邁出的關鍵一步,MOCVD技術的性能要求和技術創新滿足了客戶日益增長的需求,這些創新必然推動高收益和生產力,降低制造成本和增強設備制造商的盈利能力。”Mark Mckee表示。
近年來,中國國產設備商也逐漸崛起,并形成一定的競爭優勢。國產設備廠商中微半導體高級工藝工程師李洪偉、北方微電子公司PVD裝備事業部總經理丁培軍均在會上分享了自身核心技術及設備研究進展。
據悉,材料與裝備是半導體照明的重要基礎,更是產業發展壯大的“幕后英雄”,因此,材料與裝備性能的提升一直是業內人士非常關注的話題。隨著半導體照明進入新的發展階段,進一步提高LED的發光效率和降低LED的制備成本則顯得尤為重要。在外延方法、能量轉換效率、熱能管理、生產設備和工藝過程控制方面,LED仍有很大提升空間。